一、单向流给生产区域穿上 “防护衣”

 

垂直单向流是优化半导体颗粒物环境的 “王牌”。洁净空气从顶棚的高效过滤器垂直向下均匀流动，像给生产区域披上一层密不透风的 “空气防护衣”。它能迅速裹挟生产过程中产生的颗粒物，快速排出室外，不让颗粒物有 “停留扩散” 的机会。在光刻、蚀刻这些对洁净度要求极高的关键工序，垂直单向流就是精密设备和操作的 “守护神”。

 

二、回风系统打造气流循环 “高速公路”

 

合理设计回风系统，就像规划城市的交通路网。精准设置回风管道的位置和风速，能让气流形成高效循环，杜绝 “气流堵车” 的死角。把回风口设在靠近污染源的下方，就如同在污染源头设置了 “垃圾回收点”，及时抽走产生的颗粒物。再搭配高效过滤器净化回风，避免二次污染，确保空气循环的 “纯净度”。

 

三、设备布局让气流顺畅 “通行”

 

设备布局与气流走向配合默契，能减少设备运行产生的扰流。如果把产热多、易产生颗粒物的设备扎堆摆放，就像在道路上设置了重重障碍，会导致局部气流紊乱。而 FFU（风机过滤单元）控制器在其中扮演着 “智能交通指挥官” 的角色 ，它可以实时监测各区域的气流状态，根据设备布局和实际需求，精准调节 FFU 的风速和风量。比如，当某台大型设备运行产热量大，导致周边气流紊乱时，可以使用群控系统快速调节，增强该区域 FFU 的送风量，让气流重新恢复稳定。通过合理规划设备位置，并借助 FFU 控制器的智能调控，就能让气流顺畅 “通行”，防止颗粒物聚集，为半导体生产保驾护航。

 

 

结语

揭秘气流组织的运作法则，我们不难发现：守护半导体“纯净世界”的核心，在于对空气流动的绝对掌控。 在实际使用中，利用Clabso气流组织模拟软件与FFU群控系统协同合作，使垂直单向流隔绝污染，高效回风系统清除隐患，智能布局与调控保障畅通无阻。正是这环环相扣的精密气流设计，为芯片的诞生铺就了一条通往纯净的“高速路”，成就了方寸之间的无限可能。

 

来源：中源广科CLABSO